1_, произв. ед.

50\

О}.

150016001700Т,К

Рис. 36. Зависимость тока отрицательных ионов, образующихся при нагревании СаР2, от температуры.

рения проводились по методике, изложенной выше.

Масс-спектр отрицательных ионов, наблюдавшихся при нагреве шлаков, состоял из ионов 35С1-, 37С1-, Р- и О-. Подавляющую часть потока отрицательных ионов в исследованном диапазоне температур (до 1700 К) составляли ионы примеси 35С1- и 37С1_.

Образованием ионов 35С1- и 37С1~ сопровождался нагрев и СаР2 Несмотря на малое содержание в СаР2 примеси хлора, в исследованном диапазоне температур (до 1800 К) преобладали ионы 35С1~ и 37С1~. Ионы Р- начинали заметно проявляться лишь при достижении температуры 1600 К, в то время как ионы 35С1" регистрировались при температуре примерно на 100 К ниже (рис. 36). После превышения Т » 1700 К количество отрицательных ионов хлора уменьшалось, по-видимому, в результате истощения примеси, а число ионов фтора продолжало увеличиваться.

Гораздо богаче масс-спектр отрицательных ионов, образующихся при нагреве смеси флюорита с рутилом. При температуре около 1470 К начинали регистрироваться ионы ЛРз" и ИРГ- По мере повышения температуры помимо них стали появляться ИОНЫ Т1р2~, ИР-, НР-, Н- (рис. 37, а). При Т ъ 1650 К регистрировались малоинтенсивные пики, соответствующие ионам СО-, СаР-и ТЮ-.

В масс-спектре преобладали ионы "ПРз I и Т1ТГ, причем их соотношение изменялось в зависимости от температуры подложки и времени выдержки образца при данной температуре. Плотность тока ионов Т1РГ в некоторые моменты превьи шала плотность тока ионов ИРГ-

При температурах выше 1700 К значив тельным становился пик, соответствующий ионам Н-, и по мере испарения исследуемого образца этот пик становился

20 67 86 105 124

20 47 59 65

Рис. 37. Масс-спектр отрицательных ионов, с разующихся при нагреве (Т = 1500 К): а — смеси флюорита и диоксида титана; 6 — сме флюорита и диоксида кремния.