Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 133 134 135 136 137 138 139... 494 495 496
|
|
|
|
з г 7 г О0,2 0,4 0,6 08 X Риг 4 3 Зависимость параметра £s (a/{J = = 2) от X 1 — а/а, — 1 2 а/а, = I, 3 — а а, — О уравнений (4 25)—(4 29), £s связан с глубиной проплавления s выражением s = 2Ís(aW2(4 30) Решив уравнения (4 25) с граничными условиями (4 26)—(4 28), найдем выражения для температуры в рас плаве_^ в1/вт = 1 + (а/Р) [oi/íflAj)]1 2 (к/Хо У X {erf[(я в1)1/2 58] — erf í(eoI),/2gJ} (4 31) и в твердой фазе е/6го = erfc У eric ls (4 32) Подставив выражения (4 31) и (4 32) в уравнение теплового баланса (4 29), получим трансцендентное уравнение относительно {KP)[^/2 + Xl/2exp(~-a|2/ai)] -^/Plwfc^exp^ 1 (4 33) ешив которое, можно найти параметр з и затем глубину проплавления s (х) В то же время для фиксированных значении 5, найдя из (4 30) параметр 5s можно определить величину а/р, при которой обеспечивается заданная глубина пропиавления a/p = ][схр { -|s)/erfc ls -Т gs/p _ — 1],ехр(2а£|/а,)+ Ц1/2. (4 34) Используем задачу (4 25)—(4 34) для описания динамики затвердения рас плава, предпочожив, что при x~¿,—I слой жидкости толщиной s0 набегает 0 _0,40,81,21,6 X ч А S и У Рис 4 4 Профили фазового перехода, рассчитанные для кремния / — V = 5 см с-1 2 — V = 15 см с-1 = 0 5 см на твердую подложку с постоянной скоростью V В этой области глубину фронта затвердения расплава представим как в = во — 263 (ах о),/2, (4 35 где второй член в правой части (4 35) представляет толщину затвердевшего слоя Решение находим аналогично рассмотренному выше с той разницей, что параметр 5? определим из уравнения (4 31) при условии, что мощность источ1 ика теплоты во всей области х / равняется нулю, а гра иица фазового перехода меняет направление движения р £5 еггс 1& ехр Ц (4 36) Так как 1ип р = 1/[/я. , то для всех случаев, при которых р 1 (£туа ^ ^ 0т^) толщина затвердевшего слоя зависит не от формы фронта фазового перехода, а пропорциональна параметру В 5 = 50— 2Р( лах/и)1/2 (4 37) Приняв 8=0 найдем длину жидкого "хвоста" за перемещающимся источником теплоты хт = (и/4а) (з0/У 2 (4 38} Пример расчета профиля фазового-перехода показан на рис 4 3 и 4 4 Рассчитанные профили проплавления представлены относительно истинного источника теплоты
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 133 134 135 136 137 138 139... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
