Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 358 359 360 361 362 363 364... 494 495 496
|
|
|
|
I I I Рис. 10.21. Поперечное сечение зоны проплавлення кремния ргипа электронным лучом [100]: U =[20 кВ, /=40 мА, 45 мм, Х20; а — т = 1 мс; б — % = 2 мс; в — т = 5 мс Для всех проплавлений в образцах из кремния КДБ и КЭ и в обеих плоскостях скольжения характерно наличие аоиы высокой плотности Дислокаций, которая повторяет форму проплавлення (рис, 10.21). На некоторых образцах (например, для случая /= 25 мс, плоскость [111], кремний КЭ) под зоной проплавлення у кромки наблюдаются области повышенной плотности дислокаций. Значительный интерес с точки зрения технологии обработки представляет форма зоны проплавлення на образцах кремния с двойниками. На образце из кремния КДБ в плоскости [100] при t = 5 мс была получена форма проплавлення, резко отклонившаяся от оси ЭЛ. На рис. 10.22 показана зона проплавлення образца из кремния, которая пересечена границами двойников. Ось проплавлення (отчетливо прослеживается по осевому "шнуру") при встрече с границ___ „___________метио меняет~свое" направление. Углы'*отклонения оси проплавления при входе в двойниковую область и на выходе из нее составляют соответственно 11 и 18°. На границе двойника по ося зоны проплавления наблюдается конус (типа вулкана), характерный для кремния. Образование этого конуса связано с увеличением объема расплавленного кремния при охлаждении и кристаллизации. Обработка хрупких материалов (стекла, керамики, рубина и алмаза) имеет свои особенности, связанные с характером разрушения материала в зоне электронно-лучевого воздействия [11]. При энергии электронов 20—40 кэВ одиночная луика в образце из стекла имеет радиус входа больше, чем диаметр луча. В центре лунки наблюдаются следы оплавления (размягчения), а на периферии — сколы и мелкие трещины. При повышении цг площадь сколов увеличивается, размеры трещин растут. Для одиночных лунок (полученных одиночными импульсами) в об
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 358 359 360 361 362 363 364... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
