Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 483 484 485 486 487 488 489... 494 495 496
|
|
|
|
m mus i9,nA Рис. 15.24. Зависимость радиуса электронного луча от силы тока возбуждения магнитной линзы для различных значений силы тока луча и постоянного значения переднего отрезка Ь [16] Кривые распределения плотности тока сняты при силе тока /л = 5, 10, 20, 30, 50 и 100 мА на расстояниях от центра фокусирующей системы (передний отрезок) Ь = 81, 96, 111, 126 мм. Экспериментальные зависимости радиуса луча в плоскости анализатора от силы тока /ф возбуждения магнитной линзы показаны на рис. 15.24. Каждая кривая соответствует определенному току луча и имеет ярко выраженный минимум. Рост тока луча вызывает увеличение его минимального радиуса. Так, при /л = 5 мА Ктт = 0,087 мм, а при / л = 50 мА минимальный радиус увеличивается до 0,2 мм. Увеличение силы тока пучка вызывает смещение плоскости изображения кроссовера. Например, если в плоскости анализатора сфо Ип,нп 0,i 0„? 0,2 * 0,1 х кусировать электронный луч силой тока 5 мА в пятно Rm\n = 0,087 мм и, не изменяя тока I магнитной линзы (/ф = 130 мА), увеличить силу тока электронного пучка до 30 мА, то радиус луча в этой же плоскости увеличится до 0,28 мм. При этом электронный луч не будет предельно сфокусирован. Для достижения Rmin = 0,125 мм при /л = = 30 мА необходимо увеличить силу тока фокусировки до 132,5 мА. Таким образом, при регулировании силы тока пучка происходит не только изменение радиуса, но и смещение плоскости изображения кроссовера вдоль оптической оси системы. Эти особенности следует учитывать при переходе от "настроечных" к рабочим режимам. Влияние тока пучка на величину нормального радиуса в плоскости наименьшего сечения показано на рис. 15.25. Эта зависимость нелинейна. Рост силы тока вызывает увеличение Rn. Здесь же пунктирными линиями показано изменение Ru в зависимости от величины переднего отрезка b при / = const. Изменение радиуса луча и положения плоскости изображения кроссовера, наблюдаемое при повышении силы тока пучка, существенно влияет на величину максимальной плотности тока. На рис. 15.26 показано изменение максимальной плотности тока в поперечном сечении луча Jm и удельной мощности q в зависимости от силы тока пучка. Кривые имеют максимум, по Ь,пм Рис. 15.25. Зависимость нормального радиуса электронного луча в плоскости наименьшего сечения от силы тока луча и величины переднего отрезка Ь: сплошные линии /?п —/ (?"р) при значениях переднего отрезка / — 81, 2 — 96, 3 — 11, 4 — 126 мм; пунктирные линии НП = — f (Ь) прн значениях силы тока луча 1 — 5, 2 — 30, 3 — 50, 4 — ВО, 5 — 100 мА
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 483 484 485 486 487 488 489... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
