Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 64 65 66 67 68 69 70... 494 495 496
|
|
|
|
заземленный медный коллектор в виде цилиндра с отверстием диаметром 20 мм, глубиной 50 мм, предназначенный для предотвращения попадания на датчик вторичных и отраженных электронов. Сигнал датчика подается на вход светолучевого осциллографа. Запись осциллографа производится на фотобумагу с непосредственным почернением. Для учета систематической погрешности измерений, возникающей вследствие нагрева вольфрамовой проволоки при пересечении электронного пучка, проводят предварительную градуировку прибора, схема которой представлена на рис. 2.10. В цепь датчика подключают генератор, вырабатывающий синусоидальный сир-нал частотой 1 кГц, и фильтр верхних частот. Амплитудное значение силы тока 1а в цепи определяется амплитудным значением напряжения генератора , где #ф — сопро тивление фильтра; #д — сопротивление датчика. При пересечении датчиком электронного пучка его сопротивление #д меняется, что вызывает изменение силы тока 1А, наблюдаемого на осциллограммах. Наличие ЯС-фильтра исключает влияние на 1а постоянной составляющей сигнала, зависящей от силы тока электрического пучка. Таким образом, при фиксированной скорости перемещения зонда определяют зависимость его сопротивления от координаты. Экспериментальные значения зон-дового тока / (х) находят при следующих параметрах электронно-лучевого воздействия: ускоряющее напряжение ^---— / ~ч-з -I Рис. 2.10. Схема градуировки линейного датчика: / — электронный луч; 2 — датчик (линейный зонд); 3 — генератор; 4 — осциллограф О 1 г } ч 5 в х я? Рис. 2.11. Исходная зависимость / (х), используемая для расчета распределения / (г): О — экспериментальные точки, X — точки аппроксимации II = 60 кВ, сила тока луча /л = = 15 мА, сила тока фокусирующей линзы /ф = ПО мА, расстояние от электронной пушки до датчика й = = 300 мм. Разброс значений / (*), определенных при указанных параметрах по трем осциллограммам, не превышает 5 % среднего значения. Зондовая характеристика (рис. 2.11), полученная усреднением значений / (х) по трем осциллограммам с учетом изменения сопротивления зонда при пересечении электронного пучка, пересчитывается в радиальное распределение плотности тока / (г) по методу Пирса. На рис. 2.12 приведена зависимость / (г), полученная в результате расчета для десяти зон разбиения радиуса. Исходные данные, использованные для расчета [зависимость / (х), рис. 2.11 ], приведены ниже. х10", м. . 00,61,21,82,4 / (*)• 103,А/м2 1,121,101,050,930,78 Х103, м. . 3,03,64,24,85,4 Мх)-103,А/м2 0,630,450,330,200,07 Как видно на рис. 2.12, зависимость / (г), полученная непосредст IIг) 103,А/мг о,г 0,16 0,12 0,08 п 04 —• о 1 3 г ¡0, п Рис. 2.12. Зависимость /(г), полученная непосредственной обработкой исходных данных по методу Пирса
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 64 65 66 67 68 69 70... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
