Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 69 70 71 72 73 74 75... 494 495 496
|
|
|
|
In п я (I П n U, и ' / П J. І У 0,4 -0,2 к У ч 2 10 1 r/rt /Рис. 2.19. Кривые распределения плот-' ности тока по сечению электронного луча X — соответствует закону Гаусса; О — рассчитана с помощью соотношения (2.15); д — получена экспериментально ала, что и подложка. Торец склеенного образца шлифуют и полируют в плоскости X — У. Эта плоскость является рабочей поверхностью зонда. Нерабочие поверхности металлической пленки покрывают защитным слоем. В экспериментах используют защитную пленку толщиной 1 мкм на ситалловой подложке. При исследовании более мощных пучков могут быть использованы различные тугоплавкие металлы (вольфрам, молибден, тантал). Распределение плотности тока по сечению пучка строят с помощью У,'А 2 1 (г О 1 2 3 r/ref Рис. 2.20. Погрешность измерения распределения плотности тока по сеченню электронного луча в зависимости от смещения зонда относительно центра пучка при разных его нормальных радиусах ге^г 1 — 5 мкм; 2 — 10 мкм; 3 — 15 мкм; 4 — 20 мкм; 5 — 50 мкм характеристик пленочного зонда [И]. Сила тока зонда 1Х для плоского зоида с учетом погрешности измерения /, =(/o^/2)|rf(* + D/2)/re _ -erf (*-0/2)/r,]t (2.14) где D — толщина зонда • Тогда 'о erf (х + D/2)/re erf (х —D/2)/re ~2ertDi(2re) (2.15) Расчет по выражению (2.15) показывает (рис. 2.19), что кривая достаточно близка к кривой Гаусса. Ее отклонение от кривой Гаусса — это погрешность метода, которая в данном случае зависит от положения зонда относительно центра пучка и соотношения эффективного радиуса сечения измеряемого пучка и толщины зонда. На рис. 2.20 видно, что погрешность определения плотности тока пропорциональна смещению зонда относительно центра пучка. Если отношение эффективного радиуса сечения пучка к толщине зонда rjD = 5, то погрешность определения плотности тока на уровне зондовой характеристики ОД8 ^шах не превышает 3 %. При отношении rjD = 20 эта погрешность составляет 0,16%. На рис. 2.21 приведена зависимость погрешности метода на уровне зондовой характеристики ImaJ^ от отношения размеров пучка и зонда. С помощью этой зависимости можно получить необходимые размеры зонда при заранее выбранной погрешности изме рения. С помощью зондовых характеристик, снятых при различных направлениях сканирования, построена форма поперечного сечения электронного луча на уровне 0,05 /тах (рис. 2.22). Как видно, аксиальная симметрия
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 69 70 71 72 73 74 75... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
