Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 71 72 73 74 75 76 77... 494 495 496
|
|
|
|
-кт;"кп/м,и, г Iо и г -Г \ Рис. 2 24. Зависимость пространственного заряда и потенциала электронного луча от силы его тока гр.п, нн 1,5 1,0 0,5 Здесь а — пространственный заряд на единицу длины пучка; е„ — диэлектрическая проницаемость вакуума; 1Ъ /2 — длины отрезков рабочего пучка между плоскостью сечения его зондов и торцом пушки (2) и деталью (5). * =-7%ДА__ 5,93М0Т и3.п где /3. п — сила тока зондирующего пучка. Влияние поля зонда на измеряемый пучок исчезающе мало, так как пространственный заряд и ускоряющее напряжение зонда во много раз меньше, чем у рабочего пучка, аС 1. Ниже представлены результаты измерений для электронно-лучевой установки с длиннофокусной пушкой— триодом при ускоряющем напряжении с/р. п = 20 кВ, силе тока пучка в импульсе /р. п = 2-5-15 мА, длительности импульса т„ = 2-т-1000 мкс, частоте импульсов / = 1000 Гц и давлении в вакуумной камере р = = 10-* Па. Измерения проводились при следующих заданных параметрах зонда: из п = 800 В; /3. п = 10 мкА; г3_ п = = 3 мм (в плоскости датчика). В качестве датчика были использованы два изолированных цилиндра Фарадея с общим экраном с двумя щелями размером 1X5 мм на расстоянии к = 10 мм (рис. 2.23, а). Щели располагались параллельно оси измеряемого пучка. Электроны зонда попадали в цилиндр Фарадея через указанные прорези. Для устранения влияния вторичной эмиссии с детали сигналы с цилиндров Фарадея подавались на дифферен 0,5 1,0 1,5 2,0 2,5 U,B Рис. 2.25. Зависимость радиуса рабочего электронного луча от его потенциала: / = 300 мм, Гц = 3 мм; tg а = 0,01, С/р. п = 20 кВ циальный вход осциллографа с чувствительностью 50 мкВ/см — 20 мВ/см через заземленные резисторы (50 кОм). Описываемая схема позволяет регистрировать импульсы тока с чувствительностью Р = 1 нА (для регистрации пучков в непрерывном режиме по току можно использовать вольтметр постоянного тока с дифференциальным входом). Минимальный измеряемый угол отклонения согласно рис. 2.23, бфшш = = l,2pr3.n/(V). При d = 300 мм, гв. п — 3 мм; р = = 1 нА; /д=1 мкА—сила тока датчика; фтш=1,2-10-5 рад. Зондирующую пушку и датчики на столе фиксировали относительно друг друга и подвижно относительно рабочей пушки. Зонд наводили на одну из щелей датчика с помощью отклоняющей системы зондирующей пушки таким образом, чтобы сила тока датчика составляла 0,6/д тах (с учетом максимальной чувствительности данного метода для гауссова распределения плотности тока в зонде). Для градуировки датчика сигнала использовали имитирующую рабочий пучок вертикально расположенную проволоку, на которую подавали отрицательные импульсы 0—10 В с теми же значениями длительности и частоты, что и на рабочем пучке. Стол с датчиком и пушкой перемещался нормально по отношению к проволоке. При изменении расстояния от зондирующего
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 71 72 73 74 75 76 77... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
