При взаємодії з атомами газу
змінюються також параметри електронного пучка: сильно збільшується
діаметр пучка а"п,
зменшується його густина_/ита енергія електронів
и> Усе це є небажаним.
Для збереження параметрів
електронного променя незмінними в робочій камері створюють глибокий
вакуум. Він повинен бути таким, щоб довжина вільного пробігу електронів
пучка між двома співударами перевищувала відстань від катода електронної
гармати до оброблювальної деталі.
Середня довжина вільного пробігу
електронів у газі може бути обчислена за формулою:
(2.8)де п -
концентрація атомів (частинок ) газу на шляху
електронів;
оо—ефективний переріз
іонізації атома електроном, що пролітає.
Значення аа
залежить від швидкості електронів. У звичайному діапазоні енергії
електронно-променевих установок (10... 100 кеВ) аа
зменшується зі збільшенням енергії електронів.
Довжина вільного пробігу X
залежить головним чином відтиску газів у камері і
збільшується при зменшенні тиску.
Для повітря при температурі 20
°С залежність X від тиску р наведена
у табл. 2.2.
Табли я2 2 Отже,
граничнодопустимим
>>. тиском в робочих камерах елек-
Вільніш пробіг залежно
від к ^
тронно-променевих установок
слід
вважати не більший, ніж
10-4лш
