їх з атомними та вільними
електронами речовини. Останнім передається кінетична енергія
первинних електронів, внаслідок чого вони можуть подолати потенціальний
бар'єр і вийти за межі самої речовини. Виникає вторинна електронна
емісія з оброблюваної поверхні.
У результаті взаємодії з
речовиною одним з описаних вище способів електрони пучка можуть змінювати
напрям свого руху на зворотний і вийти за межі оброблювальної деталі назад
в робочу камеру установки. Це явище називається відбиттям
електронів.
Якщо при цьому електрони пучка
втрачають частину своєї енергії, то це непружне відбиття. Можливе також
пружне відбиття - без втрат енергії.
Зворотне розсіювання менше
ймовірне, ніж розсіювання на ядрах, але воно суттєво впливає на розподіл
енергії при електронно-променевому нагріванні, бо електрони, що
повертаються у вакуум, забирають з собою частину потужності
пучка.
Ймовірність
ов-взаємодії електронів пучка та речовини визначається
формулою:
(2.9)
де (v — енергія електронів пучка
(первинних);
\і>!
2 -та
частина енергії, яку первинний електрон передає зустрічним електронам
речовини (вторинним).
Із формули (2.9) видно, що
ае зменшується при збільшенні як енергії
електронів пучка и»с, так і енергії вторинних електронів
м>{ 2. Внаслідок цього біля самої
поверхні оброблювальної речовини, де швидкість електронів і їх енергія
уу, ще великі,
ймовірність передачі енергії електронам речовини менша, ніж на певній
глибині, і вторинних електронів буде утворюватись дуже мало. При
заглибленні у речовину уу, зменшується, а уу(,
збільшується.
Отже, емісія вторинних
електронів головним чином відбувається не з поверхні речовини, а з
більш глибинних її шарів. Непрямим наслідком з формули (2.9) є
можливість отримання максимальної температури не на самій поверхні
виробу, а на певній глибині.
Таким чином, проходячи через
речовину, електронний пучок викликає різні збурення вії кристалічній
решітці. Наслідками цього є локальне підвищення температури,
виникнення рентгенівського випромінювання та утворення відбитих і
вторинних електронів. Останні два явища є негативними, тому що вони
забирають