3.3. Магнітні лінзи
Призначенням системи проведення
пучка є перетворення параметрів пучка, сформованого в генераторі, в
такі його параметри в зоні дії пучка, які необхідні для здійснення певного
технологічного процесу. Найменший діаметр пучка для деяких з них
потрібно збільшити або, навпаки, зменшити, щоб пучок у зоні дії мав
певний діаметр і певну густину струму або ж певну питому
поверхневу потужність.
В електронно-променевих
установках проведення пучка здійснюють шляхом його фокусування і
відхилення, використовуючи принципи електронної оптики.
Для фокусування пучка, як
правило, застосовують магнітне поле з осьовою симетрією, створюване
магнітними лінзами. Можливе також фокусування пучка за допомогою
електричного поля, якщо воно має осьову симетрію. Але магнітне фокусування
має ряд переваг перед електростатичним і є переважним. Відхилення ж
електронних пучків найчастіше здійснюютьзадопомогою простихабо схрещених
магнітних двополюсників або двох електростатичних пластин.
На електрон, що знаходиться в
електромагнітному полі та рухається там зі швидкістю V,
діє сила Лоренца Р.
(3.8)де Р— сила
Лоренца; е — заряд електрона;
Е— напруженість електростатичного
поля ; с — швидкість світла у вакумі; V— швидкість електрона;
В—
магнітна індукція.
На рис.3.6 і 3.7 відповідно
показана схема руху електрона окремо в однорідному електростатичному
та однорідному магнітному полі.
