Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками

Листать книгу

Страницы: ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ...

скачать книгу Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками

Вероятный механизм процесса связан с миграцией междоузлий Можно ожидать, что междоузельный механизм диффузии примеси эффективен, если облучение проводится при температуре, недостаточной для активации движения вакансий, а гомогенизация является единственным процессом, происходящим в материале при облучении
...
Соответствующим выбором энергии и температуры бомбардирующих ионов можно обеспечить значительные изменения плотности выделений в требуемом диапазоне глубин
...
Таким образом, микроструктура приповерхностной области может быть изменена в соответствии с преследуемыми целями при сохранении ее химического состава
...
Концентрация золота, которую можно вывести в медь ионным перемешиванием, значительно превосходит максимальную концентрацию, достижимую прямой имплантацией, когда эффекты распыления в общем случае накладывают ограничения на достижимый концентрационный предел
...
Концентрация золота, которую можно вывести в медь ионным перемешиванием, значительно превосходит максимальную концентрацию, достижимую прямой имплантацией, когда эффекты распыления в общем случае накладывают ограничения на достижимый концентрационный предел
...
Силициды платины Когда исследуемая система химически нестабильна в своем начальном составе или структурном состоянии, взаимодействие между различными компонентами могут протекать при стационарных режимах термического отжига
...
Силициды платины Когда исследуемая система химически нестабильна в своем начальном составе или структурном состоянии, взаимодействие между различными компонентами могут протекать при стационарных режимах термического отжига
...
Силициды платины Когда исследуемая система химически нестабильна в своем начальном составе или структурном состоянии, взаимодействие между различными компонентами могут протекать при стационарных режимах термического отжига
...
В данном случае интересно объяснить реакции, обусловленные ионным облучением системы платина — кремний, в сравнении с такими же реакциями, наблюдаемыми при стационарных режимах отжига
...
В данном случае интересно объяснить реакции, обусловленные ионным облучением системы платина — кремний, в сравнении с такими же реакциями, наблюдаемыми при стационарных режимах отжига
...
Это наблюдение является серьезным доказательством того, что уширение обусловлено главным образом взаимодействием налетающих ионов с атомами матрицы, а не с атомами маркированных слоев
...
Это наблюдение является серьезным доказательством того, что уширение обусловлено главным образом взаимодействием налетающих ионов с атомами матрицы, а не с атомами маркированных слоев
...
Общие замечания Уширение маркированных слоев, состоящих из примесных атомов, обусловленное первичными и вторичными выбитыми атомами в пределах каскада столкновений, часто называемое перемешиванием за счет выбитых атомов или баллистическим перемешиванием, рассматривалось рядом авторов
...
Следовательно, можно заключить, что для разбавленных примесных атомов в гомогенной матрице перемешивание атомов при ионном облучении при комнатной температуре и ниже обусловлено в основном взаимодействием между налетающими ионами и атомами матрицы, причем это взаимодействие можно рассматривать с точки зрения столкновений
...
Эксперименты с тонкими маркированными слоями дают возможность оценить нижний предел или минимальное перемешивание, которое происходит при реакциях, обусловленных ионным пучком
...
В основном внимание будет сосредоточено на тех структурах, в которых большие атомные концентрации могут быть введены в мишень в результате ионной бомбардировки
...
Общие замечания Уширение маркированных слоев, состоящих из примесных атомов, обусловленное первичными и вторичными выбитыми атомами в пределах каскада столкновений, часто называемое перемешиванием за счет выбитых атомов или баллистическим перемешиванием, рассматривалось рядом авторов
...
Сторона диаграммы, богатая платиной, недавно была дополнена, а со стороны кремния осталась неизменной Образование разупорядоченных или аморфных слоев ионным облучением установлено с высокой достоверностью в работах
...
Аморфный сплав может легко трансформироваться в метастабильную кристаллическую фазу, если такая фаза существует и если обеспечивается подвижность атомов
...
Сторона диаграммы, богатая платиной, недавно была дополнена, а со стороны кремния осталась неизменной Образование разупорядоченных или аморфных слоев ионным облучением установлено с высокой достоверностью в работах
...
Аморфный сплав может легко трансформироваться в метастабильную кристаллическую фазу, если такая фаза существует и если обеспечивается подвижность атомов
...
Поэтому имеется значительное количество работ, посвященных исследованиям образования силицидов под действием ионной бомбардировки, в дополнение к работам по системе платина — кремний, ссылки на которые приведены выш
...
Поэтому имеется значительное количество работ, посвященных исследованиям образования силицидов под действием ионной бомбардировки, в дополнение к работам по системе платина — кремний, ссылки на которые приведены выш
...
Поэтому имеется значительное количество работ, посвященных исследованиям образования силицидов под действием ионной бомбардировки, в дополнение к работам по системе платина — кремний, ссылки на которые приведены выш
...
Все эти результаты предполагают, что в случае обнаружения эффективного перемешивания и хорошо выраженных фаз протекает радиационно ускоренная диффузия за счет миграции вакансий за пределы каскада столкновений
...
Все эти результаты предполагают, что в случае обнаружения эффективного перемешивания и хорошо выраженных фаз протекает радиационно ускоренная диффузия за счет миграции вакансий за пределы каскада столкновений
...
Конечно, существуют признаки того, что первая фаза, образованная иопнон бомбардировкой, может отличаться от образованной в результате термических реакций
...
Поведение пар тонких пленок золото — серебро также показывает, что степень взаимной диффузии, обусловленной ионным перемешиванием, можно предсказать по термическим данным
...
Система золото — кремний, для которой характерны высокие скорости диффузии, является также хорошим тестовым объектом для изучения расслоения при высоких дозах ионов, В случае длительного облучения, при дозах, больших, чем требуется для образования метастабильных фаз
...
Система золото — кремний, для которой характерны высокие скорости диффузии, является также хорошим тестовым объектом для изучения расслоения при высоких дозах ионов, В случае длительного облучения, при дозах, больших, чем требуется для образования метастабильных фаз
...
Последнее вытекает из работ по радиационному повреждению, включая облучение массивных материалов при повышенных температурах высокими дозами легких ионов
...
Система никель — кремний представляет одну из таких возможностей, а эвтектические системы золото — кремний и серебро — кремний могут представить вторую
...
преимущественное распыление под действием термодинамических движущих сил может быть более важным, чем преимущественная передача энергии внутри каскадов столкновений
...
Заключение и обсуждение перспектив Прохождение тяжелых ионов через границу раздела между осажденным слоем и подложкой приводит к перемешиванию слоя и подложки, что может служить альтернативой прямой высокодозной ионной имплантации как методу модификации материалов
...
Как термодинамические факторы, так и передача энергии внутри каскадов столкновений вокруг трека иона имеют важное значение при определении перемешивания
...
Последнее вытекает из работ по радиационному повреждению, включая облучение массивных материалов при повышенных температурах высокими дозами легких ионов
...
Система никель — кремний представляет одну из таких возможностей, а эвтектические системы золото — кремний и серебро — кремний могут представить вторую
...
преимущественное распыление под действием термодинамических движущих сил может быть более важным, чем преимущественная передача энергии внутри каскадов столкновений
...
Заключение и обсуждение перспектив Прохождение тяжелых ионов через границу раздела между осажденным слоем и подложкой приводит к перемешиванию слоя и подложки, что может служить альтернативой прямой высокодозной ионной имплантации как методу модификации материалов
...
Еще пять лет назад наиболее убедительной представлялась модель изменения состава приповерхностной области в результате распыления, предложенная авторами
...
Вместе с тем каскадное перемешивание обеспечивает однородность состава в пределах так называемого слоя измененных свойств, толщина которого приблизительно равна проективному пробегу ионов
...
По мере обеднения состава поверхностного слоя легкораспыляемой компонентой устанавливается равновесное состояние, при котором состав потока распыляемых атомов соответствует исходному составу сплава
...
Процессы, вызывающие изменение состава поверхности В этом параграфе рассмотрим отдельные процессы, дающие вклад в изменение состава приповерхностного слоя при распылении
...
Следует отметить, что на сегодня возможность реализации каждого из процессов подтверждена экспериментально и в некоторой степени обоснована теоретически
...
Все определяющие их физические параметры входят в вероятность распыления рА, зависящую от типа и энергии налетающего иона, типа распыляемого атома, поверхностной энергии и т
...
Все упомянутые выше механизмы изменения состава, исключая преимущественное распыление, непосредственное влияние оказывают на концентрацию атомов вблизи поверхности
...
В случае низкоэнергетического облучения распыление атомов убывает примерно экспоненциально с глубиной, а длина затухания имеет величину порядка двух межатомных расстояний в направлении, перпендикулярном к поверхности
...
При обсуждении приведенных данных Андерсен отмечает, что многие результаты по изменению состава приповерхностных слоев облучаемых материалов являются следствием не только и даже не столько преимущественного распыления, сколько одновременного действия распыления и вторичных эффектов, рассмотренных в конце данного параграфа
...
При обсуждении приведенных данных Андерсен отмечает, что многие результаты по изменению состава приповерхностных слоев облучаемых материалов являются следствием не только и даже не столько преимущественного распыления, сколько одновременного действия распыления и вторичных эффектов, рассмотренных в конце данного параграфа
...
Это совершенно точный результат и важно понимать, что в установившемся режиме поток распыленных атомов не содержит информации о преимущественном распылении и о вторичных процессах, обусловленных изменениями состава мишени под действием распыления
...
после достижения равновесного состояния вероятности распыления пропорциональны отношению объемной и поверхностной концентрации рассматриваемого элемента
...
При условии, что рассеивающие ионы, внедрившись в сплав, оказываются достаточно сильно связанными, полную вероятность их распыления можно выразить через равновесную поверхностную концентрацию Ро
...
Это совершенно точный результат и важно понимать, что в установившемся режиме поток распыленных атомов не содержит информации о преимущественном распылении и о вторичных процессах, обусловленных изменениями состава мишени под действием распыления
...
Имплантация атомами отдачи и каскадное перемешивание Имплантация атомами отдачи и каскадное перемешивание обусловлены сильным взаимодействием пучка бомбардирующих ионов с атомами твердого тела, вызывающим значительные смещения атомов
...
Однако сам по себе этот процесс не приводит к перемещению значительного числа атомов в направлении пучка, поскольку твердое тело релаксирует, восстанавливая свою обычную плотность
...
Будучи приблизительно изотропными, случайные блуждания атомов при перемешивании вызывают симметричное уширение узкого маркировочного слоя, введенного в мишень, с другой стороны, имплантация атомами отдачи приводит к смещению центра распределения атомов
...
Видимо, на сегодня отсутствуют экспериментальные данные о миграции меток под действием имплантации атомами отдачи и о дозовой зависимости таких перемещений
...
Имплантация атомами отдачи и каскадное перемешивание с хорошей степенью приближения должны быть атермичными процессами, поскольку энергия атомов, участвующих в перемещениях, на много больше энергии тепловых колебаний
...
Имплантация атомами отдачи и каскадное перемешивание с хорошей степенью приближения должны быть атермичными процессами, поскольку энергия атомов, участвующих в перемещениях, на много больше энергии тепловых колебаний
...
Прирост определяется балансом между скоростью образования вакансий при смещении атомов и рекомбинацией с атомами внедрения, а также стоком вакансий на поверхностях и дислокациях
...
Вклад атомов внедрения в термическую диффузию обычно пренебрежимо мал в связи с тем, что энергия их образования велика в сравнении с энергией образования вакансий, а их концентрация в равновесных условиях оказывается на несколько порядков ниже
...
Прирост определяется балансом между скоростью образования вакансий при смещении атомов и рекомбинацией с атомами внедрения, а также стоком вакансий на поверхностях и дислокациях
...
Вклад атомов внедрения в термическую диффузию обычно пренебрежимо мал в связи с тем, что энергия их образования велика в сравнении с энергией образования вакансий, а их концентрация в равновесных условиях оказывается на несколько порядков ниже
...
В большинстве интересующих нас случаев распыления и ионной бомбардировки быстро устанавливается квазистационарное равновесие концентрации точечных дефектов, при котором количество образующихся дефектов уравновешивается процессами их взаимной рекомбинации, образования кластеров и аннигиляции на стоках
...
При низких температурах наблюдается высокая концентрация дефектов, а основным конкурирующим процессом является рекомбинация новых дефектов с дефектами, расположенными рядом, которые возникли в результате предшествующих смещений
...
При более высоких температурах дефекты с низкой энергией активации успевают совершать несколько термически активированных прыжков, прежде чем аннигилируют или рекомбинируют с ранее существовавшими или новыми дефектами
...
Тем не менее вклад дефектов в диффузию атомов возрастает, поскольку среднее число прыжков за время жизни больше при меньшей концентрации дефектов вследствие пониженной вероятности рекомбинации
...
При промежуточных температурах равновесная концентрация дефектов может становиться достаточно низкой, чтобы большинство дефектов аннигилировало на стоках
...
Если плотность стоков постоянна, среднее число прыжков между возникновением и аннигиляцией не изменяется и, следовательно, вклад в диффузию в этом режиме не зависит от температуры
...
Время жизни дефектов в неискаженной области значительно выше, чем в области радиационных искажений, и, как следствие, при повышенных температурах интенсивная диффузия обнаруживается на глубинах, значительно превышающих пробег ионов
...
см — эффективная пороговая энергия смещения, используемая в модифицированном уравнении Кинчина — Пиза и в некоторых часто используемых для расчета интенсивностей смещения машинных кодах
...
Недавно была составлена таблица значений поверхностной энергии связи и пороговой энергии смещения для многих металлов, и показано, что для большинства из них отношение Еэ
...
Для низкотемпературного режима каскадного перемешивания это предположение справедливо, если область зарождения дефектов превосходит толщину слоя измененного состава
...
см — эффективная пороговая энергия смещения, используемая в модифицированном уравнении Кинчина — Пиза и в некоторых часто используемых для расчета интенсивностей смещения машинных кодах
...
Недавно была составлена таблица значений поверхностной энергии связи и пороговой энергии смещения для многих металлов, и показано, что для большинства из них отношение Еэ
...

Расчеты тепловых процессов при сварке
Сборка и сварка корпусов судов
Технологія конструкційних матеріалів і матеріалознавство: Практикум: Навч.посібник
Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Металловедение пайки
Теорія зварювальних процесів. Дослідження фізико-хімічних і металургійних процесів та здатності металів до зварювання
Справочник по сварке цветных металлов

"Сварка-ЛИБ" - Техническая библиотека сварщика | Сварка, термообработка, материалы, металлы и сплавы

admin

Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками