Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками

Листать книгу

Страницы: ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ...

скачать книгу Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками

Эти уравнения предсказывают, что концентрация не может превосходить предельной растворимости в твердой фазе, а такой вывод не согласуется с экспериментом
...
Скорость введения или захвата примесных атомов в кристалле зависит в первую очередь от скорости продвижения фронта кристаллизации, а не от скорости реакции
...
Учесть описанное явление проще всего, предположив, что в кристалл из жидкости вблизи границы раздела по указанному механизму вводится часть примесных атомов, равная а
...
Полученные расчетные значения скорости могут быть неточны, поскольку предполагалось, что независимо от скорости роста граница раздела находится при температуре плавления
...
Проведенное сравнение теории и эксперимента впервые позволило получить информацию об относительной подвижности исходных и примесных атомов на границе раздела
...
Низкотемпературная аморфная фаза, полученная при низкотемпературном ионном разрушении или при низкотемпературном осаждении, характеризуемая случайной структурой с четырьмя Олижай
...
С другой стороны, высокотемпературная фаза является типичной металлической жидкостью, в которой каждый атом имеет примерно одиннадцать ближайших соседей
...
Фазовые переходы в кремнии Наименование Кристаллический кремний Жидкий кремний Аморфный кремний Структура Число ближайших соседей Стабильность Переходы Алмаза кубическая
...
Подвижность в случае переходов обоих типов предполагалась одинаковой, однако соответствующие зависимости пересекаются, поскольку изменение энтропии в случае перехода жидкость
...
Образование аморфной фазы из жидкой недавно было обнаружено в экспериментах с использованием очень коротких лазерных импульсов, обеспечивающих высокие скорости затвердевания
...
Образующаяся жидкость будет находиться при температуре, значительно меньшей температуры кристаллизации, и таким образом может очень быстро кристаллизоваться
...
Увеличение толщины аморфного слоя и снижение теплопроводности подложки уменьшают рассеяние теплоты и облегчают нагрев аморфной фазы до температуры плавления
...
Тепловой поток и кристаллизация Обычный процесс кристаллизации требует, чтобы для осуществления процесса скрытая теплота отводилась из области границы раздела фаз
...
При росте кристалла из раствора, когда скорость процесса невелика, во многих случаях определяющим являегся тепловой поток, при этом следует различать два предельных случая
...
Экспериментальный контроль пересыщения чаще всего используется, если процесс роста кристалла определяется строением границы раздела и необходимы большие значения пересыщений, чтобы обеспечить достаточную скорость роста, а небольшая истинная скорость роста подавляет нестабильности на межфазной границе раздела
...
Ее суть заключается в том, что растущий кристалл помещается в область температурного градиента и скорость роста определяется положением образца относительно источ
...
При росте кристалла из раствора, когда скорость процесса невелика, во многих случаях определяющим являегся тепловой поток, при этом следует различать два предельных случая
...
Простейшим случаем является схема, предложенная Бриджменом, в которой ампула, содержащая образец, нагревается до температуры плавления в печи и затем медленно вытягивается из нее
...
В результате характер переохлаждения таков, что область заданной скорости роста кристалла, определяемая некоторой изотермой, перемещается вдоль образца
...
Состав раствора, как правило, обогащен компонентами, вытолкнутыми растущим кристаллом и в результате переохлаждение вблизи кристалла меньше, чем вдали от него
...
Три рассмотренной схеме, например в случае металла, находящегося в собственном расплаве, или льда в переохлажденной воде, рост происходит очень быстро и приводит к дендритной структуре
...
для тех, которые находятся при температурах, выше температуры появления поверхностной шероховатости, стабилизации фронта роста кристалла осуществляется созданием температурного градиента
...
Они исследовали рост бесконечно малого возмущения на границе раздела и определили условия, при которых возмущение будет расти или, наоборот, уменьшаться
...
в зависимости от условий роста могут наблюдаться более или менее значительные отклонения, но обычно они укладываются в интервал, получаемый умножением указанной величины на л
...
Дефекты, возникающие при лазерном облучении Лазерное облучение кремния, вызывающее короткие тепловые импульсы, устраняет радиационные дефекты и даже аморфный слой, образовавшийся при ионной имплантации, если только глубина оплавленного поверхностного слоя больше толщины дефектной области
...
Непрерывный лазерный нагрев, приводящий к образованию столбика расплавленного материала в облучаемой пластине, вызывает механические повреждения, проявляющиеся в виде интенсивного
...
На протяжении определенного времени реакция металлической поверхности на лазерное излучение изучалась в связи с проблемой создания оптики для мощных лазеров
...
В общем случае хорошо развитое скольжение наблюдается при температурах, существенно меньших, чем температура плавления и зависит от ориентации кристалла
...
На протяжении определенного времени реакция металлической поверхности на лазерное излучение изучалась в связи с проблемой создания оптики для мощных лазеров
...
В общем случае хорошо развитое скольжение наблюдается при температурах, существенно меньших, чем температура плавления и зависит от ориентации кристалла
...
На протяжении определенного времени реакция металлической поверхности на лазерное излучение изучалась в связи с проблемой создания оптики для мощных лазеров
...
В общем случае хорошо развитое скольжение наблюдается при температурах, существенно меньших, чем температура плавления и зависит от ориентации кристалла
...
На протяжении определенного времени реакция металлической поверхности на лазерное излучение изучалась в связи с проблемой создания оптики для мощных лазеров
...
В общем случае хорошо развитое скольжение наблюдается при температурах, существенно меньших, чем температура плавления и зависит от ориентации кристалла
...
Дефекты строения выражаются в прогрессирующем ухудшении качества поверхности при образовании полос скольжения, межзеренном скольжении и развитии усталостных трещин
...
Образование дефектов наблюдаются как при низкоэнергетическом воздействии, когда не достигается температура плавления никеля, а происходят лишь быстрый нагрев и закалка, так и при высокоэнергетическом, вызывающем быстрое плавление и эпитаксиальную перекристаллизацию
...
Дефекты строения выражаются в прогрессирующем ухудшении качества поверхности при образовании полос скольжения, межзеренном скольжении и развитии усталостных трещин
...
Образование дефектов наблюдаются как при низкоэнергетическом воздействии, когда не достигается температура плавления никеля, а происходят лишь быстрый нагрев и закалка, так и при высокоэнергетическом, вызывающем быстрое плавление и эпитаксиальную перекристаллизацию
...
Эти очень высокие скорости, а также возможность их регулирования представляют исследователю прекрасные возможности для систематического изучения неравновесной кристаллизации в строго контролируемых условиях экспериментов
...
Данные таких экспериментов свидетельствуют о том, что примеси замещения могут быть включены в кристаллическую решетку с концентрациями, далеко превышающими пределы равновесной растворимости
...
Как концентрация примеси в расплаве, при которой проявляется нестабильность, так и размер появляющейся ячейки могут быть оценены с удовлетворительной точностью при использовании теории возмущений Муллинса — Се
...
Эти исследования показали, что высокие скорости затвердевания и очень высокие скорости охлаждения могут приводить к образованию метастабильных поверхностных структур
...
Возможность получения чистых высокоупорядоченньгх поверхностей в сверхвысоком вакууме за очень короткие промежутки времени может иметь весьма большие перспективы в таких областях, как нанесение эпитаксиальных покрытий молекулярным лучом, в которых свойства поверхности подложки определяют качество наносимой пленки
...
Определение коэффициентов распределения Коэффициенты распределения на границе раздела могут быть определены путем сравнения данных модельных расчетов перераспределения примеси при лазерном отжиге с данными измерения
...
Как концентрация примеси в расплаве, при которой проявляется нестабильность, так и размер появляющейся ячейки могут быть оценены с удовлетворительной точностью при использовании теории возмущений Муллинса — Се
...
При малых скоростях кристаллизации, когда затвердевание протекает в условиях локального равновесия на границе раздела, коэффициент распределения равен равновесному значению йо, определяемому выражением
...
При малых скоростях кристаллизации, когда затвердевание протекает в условиях локального равновесия на границе раздела, коэффициент распределения равен равновесному значению йо, определяемому выражением
...
Однако если первоначальное распределение примеси По неоднородно, как в случае ионной имплантации, то требуется численное решение уравнения диффузии, чтобы определить распределение примеси в твердой фазе
...
При отжиге импульсным лазерным излучением подводимая энергия вызывает плавление приповерхностного слоя на глубину, которая зависит от плотности энергии, длительности импульса и толщины аморфной зоны
...
Однако если первоначальное распределение примеси По неоднородно, как в случае ионной имплантации, то требуется численное решение уравнения диффузии, чтобы определить распределение примеси в твердой фазе
...
При отжиге импульсным лазерным излучением подводимая энергия вызывает плавление приповерхностного слоя на глубину, которая зависит от плотности энергии, длительности импульса и толщины аморфной зоны
...
Однако если первоначальное распределение примеси По неоднородно, как в случае ионной имплантации, то требуется численное решение уравнения диффузии, чтобы определить распределение примеси в твердой фазе
...
Висмут служит как бы промежуточным примером, поскольку зона распределения, возникшая после имплантации, равномерно расширена, л висмут умеренно накопляется у поверхности
...
Различия в профилях концентрации после лазерного отжига прямо связаны с различиями в значениях коэффициента для указанных выше трех примесей в кремнии при скоростях кристаллизации порядка нескольких метров в секунду
...
Перераспределение имплантироваянои примеси за счет диффузии в расплаве может быть рассчитано методом численного решения уравнения массопереноса, записанного в конечных разностях
...
Это подтверждает образование пересыщенного сплава в результате процесса эпитаксиальной Перекристаллизации, протекающего с высокой скоростью в жидкой фазе
...
Увеличеме коэффициента распределения в сравнении с равновесной величиной является следствием высокой скорости кристаллизации, при которой происходит отклонение от условий локального равновесия на границе раздела фаз при затвердевании
...
Если бы затвердевание протекало в условиях локального равновесия на границе раздела фаз, то почти весь индий должен был бы собраться у самой поверхности, а в объеме его содержание было бы ничтожным
...
Если бы затвердевание протекало в условиях локального равновесия на границе раздела фаз, то почти весь индий должен был бы собраться у самой поверхности, а в объеме его содержание было бы ничтожным
...
Это подтверждает положение, что процесс перераспределения примеси управляется кинетикой на границе раздела, а не равновесными термодинамическими ограничениями
...
После того как проплавление поверхностного слоя достигнет максимальной глубины и начнется затвердевание, температурный градиент в жидкой фазе будет незначителен
...
Увеличение температуры подложки изменяет как коэффициент температуропроводности, так и максимальные значения температуры, что оказывает влияние на все температурное рас
...
Однако необходимо учитывать некоторое переохлаждение на границе раздела, чтобы обеспечивалась движущая сила, требуемая для достижения конечной скорости затвердевания
...
Отжиг с использованием пикосекундного лазера Верхний порог диапазона скоростей, который может быть подвергнут исследованию, ограничивается двумя физическими механизмами
...
Для пикосекундных импульсов или при сильном поглощений излучения скорости движения границы раздела, которые могут быть достигнуты, ограничены диффузией свободных носителей, приводящей к перераспределению возбужденных электронов
...
Однако зависимость скорости границы раздела от плотности энергии должна снижать скорость в том случае, если слегка превышен энергетический порог аморфного перехода
...
В связи с этим должен существовать узкий диапазон плотностей энергии, который может быть использован, чтобы обеспечить переход от кристаллической фазы к аморфной, даже при пикосекундных импульсах
...
Кристаллический порядок в поверхностном слое кремния восстановился после облучения лазером, а атомы индия остались на тех же глубинах, что и при имплантации, располагаясь в узлах замещения
...
Для пикосекундных импульсов или при сильном поглощений излучения скорости движения границы раздела, которые могут быть достигнуты, ограничены диффузией свободных носителей, приводящей к перераспределению возбужденных электронов
...
Однако зависимость скорости границы раздела от плотности энергии должна снижать скорость в том случае, если слегка превышен энергетический порог аморфного перехода
...
В связи с этим должен существовать узкий диапазон плотностей энергии, который может быть использован, чтобы обеспечить переход от кристаллической фазы к аморфной, даже при пикосекундных импульсах
...
Примеси, характеризуемые медленной диффузией в твердой фазе этих подложек, например, теллур или сурьма, сильно захватываются и кремнием, и германием при концентрациях, значительно превышающих равновесную растворимость
...

Расчеты тепловых процессов при сварке
Сборка и сварка корпусов судов
Технологія конструкційних матеріалів і матеріалознавство: Практикум: Навч.посібник
Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Металловедение пайки
Теорія зварювальних процесів. Дослідження фізико-хімічних і металургійних процесів та здатності металів до зварювання
Справочник по сварке цветных металлов

"Сварка-ЛИБ" - Техническая библиотека сварщика | Сварка, термообработка, материалы, металлы и сплавы

admin

Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками